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多晶硅制备工艺: 改良西门子法VS流化床法

多晶硅制备工艺主要分为三氯氢硅西门子法和硅烷流化床法,产品形态分别为棒状硅和颗粒硅。当前主要的多晶硅生产技术主要有三氯...

2022-04-01